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沉積系統
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便攜式樣品傳送腔體是一種專門設計用于在超高真空環境中傳送和處理樣品的設備。這種設備通常包括一個或多個關鍵組成部分,如連接真空計的接口、反射式光電陰極入射光導入口、樣品加熱裝置、進樣裝置、樣品傳遞機構等。
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