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自動光譜橢偏儀SENDURO®所有的全自動光譜橢偏免除了用戶根據高度和傾斜度手動地對準樣品的麻煩，這對于高精度和可重復的光譜橢偏是必要的。

紅外光譜橢偏儀SENDIRA利用紅外光譜中分子振動模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測量。