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簡要描述:FPD-PVD磁控濺鍍設備針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備,擁有4個單獨的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時保有彈性和具有選擇性的系統。
產品分類
磁控濺射
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詳細介紹
FPD-PVD磁控濺鍍設備
隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加,製造設備也隨著變得更大,需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備,擁有4個單獨的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時保有彈性和具有選擇性的系統。
TFT-LCD。
太陽能電池。
觸碰屏。
氧化物、氮化物和金屬材料的研究。
客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm2(玻璃)。
優異的薄膜均勻度小於±5%。
穩定的溫度控制,可將基板加熱到400°C。
Cassette傳送站。
基材電漿清潔。
OES、RGA或製程監控的額外備用
端口。
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