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光譜橢偏儀 為了獲得測量結果，在數據采集過程中沒有光學器件運動。步進掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個特性。通過創新的雙補償器2C設計擴展了步進掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設計是可現場升級和實現成本效益的附件。